تتضمن الخصائص الهيكلية للتصنيع الدقيق الجوانب التالية بشكل أساسي:
الحجم الصغير: واحدة من الخصائص الرئيسية للتصنيع الدقيق هي معالجة هياكل ميكرون/النانو ، مما يجعل حجم الأجزاء المعنية صغيرة جدًا . على سبيل المثال ، يكون حجم الأجزاء الميكانيكية عادة ما بين 0 . 01 و 10 مم.
الدقة العالية: نظرًا لأن التصميم الدقيق يتضمن أحجامًا صغيرة جدًا ، فإن متطلبات دقة الآلات هي عوامل عالية جدًا . مثل الاحتكاك والتشوه الحراري في المجهر تتطلب تحكمًا عالي الدقة لضمان دقة واستقرار الأجزاء .
التنوع: يمكن تطبيق تقنية التصميم الدقيق على مجموعة متنوعة من المواد ، بما في ذلك السيليكون والبوليمرات والمعادن والسيراميك ، إلخ . تتطلب مواد مختلفة تقنيات معالجة مختلفة ومعلمات العملية ، ولكن يمكن التحكم فيها جميعًا في micromachining.
المرونة: تقنية Micromachining مرنة للغاية ومناسبة لإنتاج المكونات الصغيرة ذات الأشكال المعقدة . لا يمكن استخدامها ليس فقط لتصنيع الأشكال الهندسية البسيطة ، ولكن أيضًا لتصنيع الهياكل ثلاثية الأبعاد المعقدة .
الإنتاج الضخم: غالبًا ما يكون التصلب الدقيق ، وهو مناسب للإنتاج على نطاق واسع . يمكن أن تحسن طريقة الإنتاج هذه الكفاءة وتقلل من التكاليف ، وهي مناسبة للأجزاء الصغيرة التي تحتاج إلى أن يتم إنتاجها على نطاق واسع .